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专利名称：感光性组合物及其制备方法、图案形成方法、应用专利类型：发明专利发明人：钱晓春,胡春青,龚艳申请号：CN202010039782.5申请日：20200115公开号：CN111413849A公开日：20200714
摘要：本发明属于光刻技术领域，具体涉及一种感光性组合物及其制备方法、图案形成方法、应用。其中感光性组合物包括以下原料：树脂组分和磺酸酯光酸产生剂。能够用于碱显影液溶解曝光的正型感光性组合物，形成具有优异的分辨率、灵敏度和良好对比度的图案。
申请人：常州强力先端电子材料有限公司,常州强力电子新材料股份有限公司,常州强力光电材料有限公司
地址：213000 江苏省常州市天宁区郑陆镇武澄工业园
国籍：CN
代理机构：常州市权航专利代理有限公司
代理人：赵慧
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