专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：硅片清洗装置专利类型：实用新型专利发明人：王贝贝
申请号：CN201320312545.7申请日：20130531公开号：CN203265121U公开日：20131106
摘要：本实用新型提供一种硅片清洗装置，包括清洗槽、转盘、支架、电机、给水管和泵，清洗槽固定安装在支架上，电机固定安装在清洗槽的底部，电机的输出轴延伸至清洗槽内，转盘固定安装在电机的输出轴上，转盘的表面开设有滤水孔，泵固定安装在支架的侧壁，清洗槽的底部开设有出水口，出水口上设有出水管，出水管的另一端与给水管合并成一路后连接至泵的输入端，泵的输出端连接有进水管，进水管的输出端延伸至清洗槽内，进水管的端部设有喷嘴，给水管和出水管上均设有阀。本实用新型硅片清洗装置，清洗效果好，效率高且减少了水浪费，降低了生产成本。
申请人：浙江金乐太阳能科技有限公司
地址：315201 浙江省宁波市镇海区庄市街道逸夫路177号
国籍：CN
代理机构：余姚德盛专利代理事务所(普通合伙)
代理人：胡小永
更多信息请下载全文后查看
