(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210560871 U(45)授权公告日 2020.05.19
(21)申请号 201920850054.5(22)申请日 2019.06.06
(73)专利权人 晶创铭盛电子科技(香河)有限公
司
地址 065400 河北省廊坊市香河经济技术
开发区运河大道东侧安晟街北侧运泰路西侧机器人产业港1期E5楼(72)发明人 王志磊
(74)专利代理机构 北京志霖恒远知识产权代理
事务所(普通合伙) 11435
代理人 杨玉廷(51)Int.Cl.
C30B 15/00(2006.01)
权利要求书1页 说明书2页 附图3页
(54)实用新型名称
一种单晶炉用籽品提升旋转机构
(57)摘要
本实用新型公开了一种单晶炉用籽品提升旋转机构,包括安装座,所述安装座上安装有驱动电机a,所述安装座的一侧安装有连接块,所述连接块安装在提升机构上,所述提升机构上包括底座、第一齿轮、第二齿轮、齿条、连接杆、限位座和驱动电机b,所述底座的左侧安装有所述第一齿轮,所述第一齿轮的下方安装有所述第二齿轮,所述第二齿轮和第一齿轮之间固定有所述齿条,所述齿条的上端安装有所述连接杆,所述连接杆的上端固定在所述限位座中,所述底座的右侧安装有所述驱动电机b。通过齿轮带动齿条上升和下降,从而带动提升机构的运动,稳定性好,可以在提升过程中控制籽晶绳的位置,反应灵敏,可靠性高,提高了产品的质量。
CN 210560871 UCN 210560871 U
权 利 要 求 书
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1.一种单晶炉用籽品提升旋转机构,包括安装座(1),其特征是:所述安装座(1)上安装有驱动电机a(2),所述驱动电机a(2)的输出端安装有旋转轴(3),所述旋转轴(3)的下端安装有籽晶连接体(4),所述安装座(1)的一侧安装有连接块(5),所述连接块(5)安装在提升机构(6)上,所述提升机构(6)上包括底座(6.1)、第一齿轮(6.2)、第二齿轮(6.3)、齿条(6.4)、连接杆(6.5)、限位座(6.6)和驱动电机b(6.7),所述底座(6.1)的左侧安装有所述第一齿轮(6.2),所述第一齿轮(6.2)的下方安装有所述第二齿轮(6.3),所述第二齿轮(6.3)和第一齿轮(6.2)之间固定有所述齿条(6.4),所述齿条(6.4)的上端安装有所述连接杆(6.5),所述连接杆(6.5)的上端固定在所述限位座(6.6)中,所述底座(6.1)的右侧安装有所述驱动电机b(6.7)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用籽品提升旋转机构,其特征是:所述连接块(5)焊接式安装在所述齿条(6.4)上。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用籽品提升旋转机构,其特征是:所述限位座(6.6)的内部设有限位孔,所述连接杆(6.5)安装在所述限位孔中。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用籽品提升旋转机构,其特征是:所述第二齿轮(6.3)和第一齿轮(6.2)均安装在所述底座(6.1)的同一侧。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉用籽品提升旋转机构,其特征是:所述驱动电机b(6.7)有两个,分别安装在所述第一齿轮(6.2)和第二齿轮(6.3)上。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉用籽品提升旋转机构,其特征是:所述齿条(6.4)的上、下两侧均设有锯齿。
7.根据权利要求1所述的一种单晶炉用籽品提升旋转机构,其特征是:所述齿条(6.4)的上、下两侧依次与所述第一齿轮(6.2)和第二齿轮(6.3)啮合。
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说 明 书
一种单晶炉用籽品提升旋转机构
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技术领域
[0001]本实用新型涉及单晶炉装置领域,具体涉及一种单晶炉用籽品提升旋转机构。背景技术
[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。传统的单晶硅炉的硅籽晶提升结构通过丝杠的旋转带动丝母上下升降,从而实现籽晶轴的提拉。这种方法提拉稳定性差,反应迟钝,不能在提升过程中控制籽晶绳的位置,降低了产品的品质,生产效益低下。发明内容
[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种单晶炉用籽品提升旋转机构,解决提升机构稳定性差的问题。
[0004]根据本申请实施例提供的技术方案,一种单晶炉用籽品提升旋转机构,包括安装座,所述安装座上安装有驱动电机a,所述驱动电机a的输出端安装有旋转轴,所述旋转轴的下端安装有籽晶连接体,所述安装座的一侧安装有连接块,所述连接块安装在提升机构上,所述提升机构上包括底座、第一齿轮、第二齿轮、齿条、连接杆、限位座和驱动电机b,所述底座的左侧安装有所述第一齿轮,所述第一齿轮的下方安装有所述第二齿轮,所述第二齿轮和第一齿轮之间固定有所述齿条,所述齿条的上端安装有所述连接杆,所述连接杆的上端固定在所述限位座中,所述底座的右侧安装有所述驱动电机b。[0005]本实用新型中,所述连接块焊接式安装在所述齿条上。[0006]本实用新型中,所述限位座的内部设有限位孔,所述连接杆安装在所述限位孔中。[0007]本实用新型中,所述第二齿轮和第一齿轮均安装在所述底座的同一侧。[0008]本实用新型中,所述驱动电机b有两个,分别安装在所述第一齿轮和第二齿轮上。[0009]本实用新型中,所述齿条的上、下两侧均设有锯齿。[0010]本实用新型中,所述齿条的上、下两侧依次与所述第一齿轮和第二齿轮啮合。[0011]综上所述,本申请的有益效果:通过齿轮带动齿条上升和下降,从而带动提升机构的运动,稳定性好,可以在提升过程中控制籽晶绳的位置,反应灵敏,可靠性高,提高了产品的质量。
附图说明
[0012]通过阅读参照以下附图所作的对非性实施例所作的详细描述,本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
[0013]图1为本实用新型的结构示意图;[0014]图2为本实用新型的左视图;[0015]图3为本实用新型的右视图。[0016]图中标号:安装座-1;驱动电机a-2;旋转轴-3;籽晶连接体-4;连接块-5;提升
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说 明 书
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机构-6;底座-6.1;第一齿轮-6.2;第二齿轮-6.3;齿条-6.4;连接杆-6.5;限位座-6.6;驱动电机b-6.7。具体实施方式
[0017]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明,而非对该发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与发明相关的部分。[0018]需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。[0019]如图1和图2所示,一种单晶炉用籽品提升旋转机构,包括安装座1,所述安装座1上安装有驱动电机a2,所述驱动电机a2的输出端安装有旋转轴3,所述旋转轴3的下端安装有籽晶连接体4,所述安装座1的一侧安装有连接块5,所述连接块5安装在提升机构6上,所述提升机构6上包括底座6.1、第一齿轮6.2、第二齿轮6.3、齿条6.4、连接杆6.5、限位座6.6和驱动电机b6.7,所述底座6.1的左侧安装有所述第一齿轮6.2,所述第一齿轮6.2的下方安装有所述第二齿轮6.3,所述第二齿轮6.3和第一齿轮6.2之间固定有所述齿条6.4,所述齿条6.4的上端安装有所述连接杆6.5,所述连接杆6.5的上端固定在所述限位座6.6中,所述底座6.1的右侧安装有所述驱动电机b6.7。所述连接块5焊接式安装在所述齿条6.4上。所述限位座6.6的内部设有限位孔,所述连接杆6.5安装在所述限位孔中。所述第二齿轮6.3和第一齿轮6.2均安装在所述底座6.1的同一侧。所述驱动电机b6.7有两个,分别安装在所述第一齿轮6.2和第二齿轮6.3上。所述齿条6.4的上、下两侧均设有锯齿。所述齿条6.4的上、下两侧依次与所述第一齿轮6.2和第二齿轮6.3啮合。[0020]实施例1,安装时,先将第一齿轮6.2和第二齿轮6.3安装到底座6.1上,然后将所述驱动电机b6.7安装到第二齿轮6.3中,将驱动电机b6.7固定到底座6.1的另一侧,将齿条6.4的一端固定到限位座6.6中,另一端卡在第二齿轮6.3和第一齿轮6.2之间,然后将连接块5的一侧安装在齿条6.4上,另一侧安装在安装座1上。[0021]实施例2,使用时,打开驱动电机a2,旋转轴3带动籽晶连接体4旋转,如需提升籽晶连接体4,启动驱动电机b6.7,第一齿轮6.2和第二齿轮6.3旋转,带动齿条6.4做直线运动,第一齿轮6.2和第二齿轮6.3将齿条6.4在两者之间运动,齿条6.4的直线运动带动安装座1运动,从而带动籽晶连接体4提升。
[0022]以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理等方案的说明。同时,本申请中所涉及的发明范围,并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案,同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下,由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。
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说 明 书 附 图
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图1
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说 明 书 附 图
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图2
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说 明 书 附 图
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图3
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