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专利名称：镀膜设备专利类型：实用新型专利发明人：徐振源,廖为松,李建勋申请号：CN02252507.6申请日：20020905公开号：CN2573508Y公开日：20030917
摘要：本实用新型涉及一种镀膜设备，包括一马达、一第一齿轮、至少二第二齿轮、至少二基板承载座、一隔板以及一镀材源，其中，第一齿轮轴设于马达的轴心，各第二齿轮分别与第一齿轮啮合，各基板承载座则分别轴设于各第二齿轮的轴心，隔板设于该等第二齿轮与该等基板承载座之间，且隔板的一侧面至少设有二遮板支架，各遮板支架的一端部固设于隔板，其另一端部朝基板承载座的设置方向延设，而镀材源与这些基板承载座相对而设。
申请人：精碟科技股份有限公司
地址：省台北县五股乡五权七路13号
国籍：CN
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
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