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专利名称：一种基于一体化相移反射镜的剪切散斑干涉系统专利类型：发明专利
发明人：邵珩,聂中原,周勇,祁俊峰,刘战捷,左洋,李敬洋,陈怡申请号：CN202010725459.3申请日：20200724公开号：CN112113500A公开日：20201222
摘要：一种基于一体化相移反射镜的剪切散斑干涉系统，由一体化相移反射镜、相机、激光器、扩束镜和被测物组成。一体化相移反射镜包含相移镜和剪切镜，其中相移镜通过相移器连接到一体化相移反射镜基座上，由相移器驱动实现相移；剪切镜通过剪切调节装置连接到一体化相移反射镜基座上，通过剪切调节装置调节剪切镜的姿态；剪切镜为环形，包围相移镜，可以通过调整剪切调节装置使剪切机与相移镜共面，剪切镜内轮廓略大于相移镜外轮廓，使剪切镜可以调整姿态。进行剪切散斑干涉测量时，激光器发射的激光经扩束镜照射到被测物上，被测物反射的激光分别通过剪切镜和相移镜反射进入相机干涉成像。本系统具有激光利用率高、视场较大、受杂散光影响小等优点，特别适于大面积剪切散斑干涉检测。
申请人：北京卫星制造厂有限公司
地址：100190 北京市海淀区知春路63号
国籍：CN
代理机构：中国航天科技专利中心
代理人：张晓飞
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