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专利名称：平面研磨设备专利类型：发明专利
发明人：李龙生,林勇庆,许峻铭申请号：CN201610541729.9申请日：20160711公开号：CN107598758A公开日：20180119
摘要：一种平面研磨设备，其中，加工台面设置于床台上，并设置有一承载台，用以固定要进行研磨的载板，承载台能沿着一Y轴方向移动；研磨单元包含Z向移动基座、主轴马达及磨轮，主轴马达设置于Z向移动基座上，磨轮与主轴马达连接，Z向移动基座能沿着一X轴方向及一Z轴方向移动；碰刀修锐单元包含一修锐工具，其设置在磨轮的活动范围内，修锐工具能用以与磨轮接触以对磨轮进行修整；自动测量单元设置于研磨单元上，其包含驱动装置及传感器，传感器连接于驱动装置，驱动装置能驱动传感器沿着Z轴方向移动，用于测量承载台及载板的高度。借此，可具有碰刀修锐及自动测量的功能，能达到高精度的研磨尺寸。
申请人：均豪精密工业股份有限公司
地址：中国
国籍：TW
代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司
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