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专利名称：化学机械抛光用纳米氧化铈浆液及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：赵月昌,吴秋芳,高玮,陈曦,杨筱琼,顾捐永,张鹏,李冉申请号：CN200910054796.8申请日：20090714公开号：CN101608097A公开日：20091223
摘要：本发明公开了一种化学机械抛光用纳米氧化铈浆液及其制备方法，所述纳米氧化铈浆液，含有如下重量份的组分：酸性pH调节剂10－25份，分散剂0.1－0.8份，纳米氧化铈粉末74.2－.8份。与现有技术相比，本发明提供的纳米氧化铈抛光液具有氧化铈中位粒径小，粒度分布范围窄，耐磨性高，抛光选择性高，制品精度高等优点。
申请人：上海华明高纳稀土新材料有限公司
地址：201613 上海市松江区繁华路81号
国籍：CN
代理机构：上海金盛协力知识产权代理有限公司
代理人：罗大忱
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