专利名称：用于底层的芳香族树脂专利类型：发明专利
发明人：S·山田,L·崔,C·吉尔摩,J·A·凯茨,S·刘,J·F·卡梅伦,S·M·
科莱
申请号：CN201711169511.6申请日：20171121公开号：CN108148194A公开日：20180612
摘要：芳香族树脂聚合物和含有其的组合物在半导造方法中适用作底层。
申请人：罗门哈斯电子材料有限责任公司
地址：美国马萨诸塞州
国籍：US
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
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