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专利名称:一种可调激光器及制备方法专利类型:发明专利
发明人:贺继方,陈宏民,雷红兵,沈晓安申请号:CN201610169359.0申请日:20160323公开号:CN107230930A公开日:20171003
摘要:本发明公开了一种热调谐的波长可调激光器,所述激光器包括:加热层、介质层、反射镜、传输层、支撑层和衬底层。其中,所述加热层,位于所述传输层的上方;所述传输层,位于所述支撑层上方,从上到下包括上包层,波导层和下包层;所述反射镜,位于所述传输层中;所述支撑层,位于所述传输层和所述衬底层之间,具有保护结构,所述保护结构与所述传输层和所述衬底层一起形成中空结构,所述中空的部分具有支撑结构;所述衬底层,位于所述支撑层的下方。其中,所述加热层,反射镜和部分传输层组成悬空结构,可以防止热量散失。本发明的激光器利用底部支撑的悬空结构进行隔热,制作方式简单,可以提高热调谐效率,降低功耗。
申请人:华为技术有限公司
地址:518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼
国籍:CN
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