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专利名称：一种钇铝石榴石晶体的损伤检测方法专利类型：发明专利
发明人：金洙吉,安润莉,王昌瑞,韩晓龙,张自力申请号：CN201810679385.7申请日：20180627公开号：CN108519071A公开日：20180911
摘要：本发明属于硬脆材料超精密加工领域，涉及一种钇铝石榴石晶体的损伤检测方法。利用磷酸对YAG晶体表面进行刻蚀，通过称重法计算刻蚀深度，以无机械加工损伤对比工件的刻蚀深度做归一化处理，绘制相对于无机械加工损伤工件刻蚀深度的倍数与相对保温时间的曲线图，获得损伤层完全去除的时间点，并计算该时刻刻蚀深度，得到损伤层厚度。该方法在测量YAG晶体的损伤层的过程中不会严重破坏晶体形状，同时具有操作简便、测量精度高等特点。
申请人：大连理工大学
地址：116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
国籍：CN
代理机构：大连理工大学专利中心
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