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专利名称：一种高纯度六氟化钨气体生产方法专利类型：发明专利发明人：崔翼祚
申请号：CN20201002.9申请日：20200706公开号：CN1116522A公开日：20200922
摘要：本发明公开了一种高纯度六氟化钨气体生产方法，包括如下步骤：S1：将一定量的粗六氟化钨引入过滤罐中，在一定温度下使过渡金属化合物杂质吸附在过滤罐内的含碳材料上；S2：将暂存罐以及与其相连的管路抽真空，然后进行蒸馏；S3：将六氟化钨冷凝成固体后，对精馏塔进行抽真空，将固体六氟化钨中挥发性杂质排出；S4、将精馏塔内冷凝成固体的六氟化钨进行加热，使得六氟化钨融化成液体后，将六氟化钨引入至鼓泡容器内，向鼓泡容器内充入高纯惰性气体对液态六氟化钨进行鼓泡；S5、然后再重复S2‑S4的步骤2‑3次。本发明通过对粗六氟化钨的过滤、蒸馏和精馏，通过在鼓泡容器内对液态六氟化钨进行鼓泡，获得的六氟化钨的纯度更高。
申请人：厚成新材料(南通)有限公司
地址：226000 江苏省南通市经济技术开发区通顺路10号
国籍：CN
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