四氟化硅（SiF4） 无色、有毒、有刺激性臭味的气体。密度4.69g/L，熔点-90.2℃（1.73×105Pa）。四氟化硅在潮湿的空气中因水解而产生烟雾，生成硅酸和氢氟酸。在冷冻下加压可凝成液体。能溶于和乙醇。四氟化硅比较稳定。能跟氢氟酸作用生成氟硅酸H2SiF6。四氟化硅也易被碱液分解：
四氟化硅可由单质硅和氟反应制得。也可用浓硫酸处理石英砂和萤石的混合物或用氢氟酸处理二氧化硅来制备：
SiO2+4HF====SiF4↑+2H2O
将氟硅酸盐热分解可得纯四氟化硅。
四氟化硅之二
四氟化硅 化学式SiF4。无色气体，有窒息气味，熔点-90.2℃，沸点-86℃，在潮湿空气中水解生成硅酸和氟化氢，同时形成浓烟。用于制取氟硅酸和化学分析。可用浓硫酸、氟化钙、二氧化硅混合强热制取。
它并不是一种盐，而是一种卤化物。
